C6H5Cl+ Si C6H5SiCl3 +(C6H5)2SiCl2直接合成法生产苯基单体的优点是可以同时生产一苯基及二苯基氯硅烷(粗单体中苯基单体含量为60%以上,其中一苯基三氯硅烷含量为50%以上,二苯基二氯硅烷含量为10%以上);其缺点是副反应生成有毒的二氯联苯,其沸点与苯基氯硅烷接近,要用吸收法除去,使成本提高。添加锌、锡、氧化锌、氯化锌、氧化镉和氯化镉能抑制副反应,并促进二苯基二氯硅烷的生成。在氯化苯中添加四氯化硅、三氯氢硅、四氯化锡和氯化氢也能抑制副反应、并促进一苯基三氯硅烷的生成。同时它们都能抑制联苯生成。直接法合成苯基氯硅烷的反应器有沸腾床、搅拌床和转炉。